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2023年4月17日毛海央研究员学术讲座预告

来源:电气与电子工程学院 发布时间:2023-04-17 浏览量:

时间:2023年4月17日 下午2:30

地点:1A502

题目:纳米森林结构及其在MEMS热电堆传感器中的集成应用


 
 

报告人简介:

       毛海央,中国科学院微电子所研究员,博士生导师,主要从事纳米材料与MEMS传感器研究。主持包括国家自然科学基金项目、国家重点研发计划课题、国防创新项目、国防预研项目、中科院青促会(优秀)项目、省级重点研发计划等20个科研项目以及多个传感器产业化项目。在Advanced Functional Materials、Small、ACS Sensors、Microsystem & Nanoengineering 等期刊以及IEEE MEMS等国际会议上发表论文100余篇申请专利90项,已授权专利53项。在产业化方面,围绕MEMS热电堆传感器和MEMS湿度传感器开发了十余款产品,出货量达数千万颗(套)。


报告摘要:

MEMS热电堆传感器具有广泛的应用。热电堆器件对光的吸收能力影响着器件的性能,引入纳米结构增强光吸收能力是提升MEMS热电堆传感器的有效手段。报告将介绍基于等离子再聚合原理制备纳米森林结构的新工艺思路介绍利用纳米森林结构的宽光谱高吸收特性,设计纳米森林结构光吸收层的新型MEMS热电堆传感器。原为集成纳米森林结构之后器件在可见光-近红外波段,性能提升3-5倍,在中红外波段性能提升35%,展示出纳米森林结构在光电、光热电相关 MEMS传感器中优异的应用前景。





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